在線臭氧濃度分析儀采用標準智能化技術，及專有數字模擬混合通訊技術而設計的智能化的氣體變送器。該儀器具有通訊和自診斷功能、安裝維護方便，典型的智能化現場監測儀表，滿足了工業現場安全監測對設備高可靠性的要求。
在線臭氧濃度分析儀的工作原理是通過空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統時，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌除器再進入吸收池，此時臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收。當零空氣樣品通過吸收池時被光度檢測器測定的光強度為I0；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I。如此每經過一個循環周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。
在線臭氧濃度分析儀使用方法：
1、開啟空調，確認風管有風吹入潔凈空間。
2、給臭氧發生器通入冷卻水；確定臭氧出氣口已用管道導入空調送風或回風管道；然后開啟臭氧發生器；正常開機時間一般為1小時。
3、在線臭氧分析儀的開機方法是：長按開機健（約5秒鐘），有顯示后放開；暖機時間為120秒，過了暖機時間就可以檢測空氣中的臭氧濃度，臭氧濃度以數字形式顯示在檢測儀的顯示板上。臭氧濃度超過20ppm時臭氧檢測儀會警報并閃光，量程是100ppm。
4、一般建議按時間段進入潔凈區檢測臭氧濃度，臭氧發生器工作30分鐘后檢測一次，臭氧發生器工作60分鐘后檢測一次。如有必要則90分鐘及120分鐘再各檢測一次，一般臭氧發生器工作30分鐘后就能馬上檢測到臭氧濃度，工常工作時間為1小時。
如果在線臭氧濃度分析儀檢測不到臭氧濃度或偏低則要檢測臭氧是否有導入管道內或者臭氧是否有漏泄，如果臭氧有漏泄則會導致臭氧濃度偏低，如果檢測空氣中臭氧濃度過高則控制好滅菌的時間即可。
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